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先進(jìn)光電晶體材料高端裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊
先進(jìn)光電晶體材料高端裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于高端光電晶體裝備研發(fā),圍繞產(chǎn)業(yè)鏈布局創(chuàng )新鏈,實(shí)現創(chuàng )新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的有效嫁接,共...
團隊信息
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課題組名稱(chēng):先進(jìn)光電晶體材料高端裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊
課題組網(wǎng)址:www.sky.ac.cn
負責人:雷震霖
工作單位:沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
學(xué)科領(lǐng)域:真空裝備
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課題組院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:黃君龍
辦公電話(huà):024-23826803
手 機:15040097995
E-mail:huangjl@sky.ac.cn
科技處院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:鄧文宇
辦公電話(huà):024-23826803
手 機:13840418859
E-mail:dengwy@sky.ac.cn
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團隊介紹
先進(jìn)光電晶體材料高端裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于高端光電晶體裝備研發(fā),圍繞產(chǎn)業(yè)鏈布局創(chuàng )新鏈,實(shí)現創(chuàng )新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的有效嫁接,共同突破裝備制造瓶頸,通過(guò)完善生產(chǎn)加工條件,建立具有一流水平的研發(fā)、試驗、測試、產(chǎn)業(yè)化平臺,開(kāi)展大公斤級光電晶體材料制備裝備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化工作,逐步提高產(chǎn)品的市場(chǎng)競爭力,擴大市場(chǎng)份額,實(shí)現先進(jìn)光電晶體材料制備裝備的產(chǎn)業(yè)化應用,最終形成該領(lǐng)域、全球性人才與技術(shù)的高地。提升國產(chǎn)先進(jìn)光電晶體材料高端裝備的制造能力,拉動(dòng)我國光電產(chǎn)業(yè)、智能消費電子行業(yè)的快速發(fā)展。
主要研究方向包括:
● 先進(jìn)光電晶體生長(cháng)設備熱場(chǎng)理論設計及仿真模擬技術(shù)
● 先進(jìn)光電晶體生長(cháng)設備晶體生長(cháng)工藝技術(shù)
● 先進(jìn)光電晶體生長(cháng)設備全自動(dòng)控制技術(shù)
● 先進(jìn)光電晶體生長(cháng)設備關(guān)鍵部件的研制
典型轉移轉化項目案例
1.85級泡生法藍寶石晶體裝備研制
沈陽(yáng)科儀公司依靠多年人才積累,培養出了一支梯隊合理、學(xué)科互補、技術(shù)水平國內領(lǐng)先的人才團隊,緊跟國際前沿技術(shù)研究,勇于攻堅克難,在藍寶石晶體生長(cháng)設備制造裝備方面,已經(jīng)成功攻克了藍寶石晶體生長(cháng)爐自動(dòng)控制系統、可調式提拉傳動(dòng)裝置、精密加熱及熱防護系統等的多項關(guān)鍵技術(shù)難題。項目團隊搭建了先進(jìn)晶體材料孵化、中試及示范平臺,并以平臺為載體,完成了泡生法85kg級藍寶石晶體裝備研制及量產(chǎn)工作,所攻克的技術(shù)均屬于國內首創(chuàng ),并實(shí)現了首家生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)業(yè)化成功應用。技術(shù)水平達到國內領(lǐng)先,至今相類(lèi)似技術(shù)在國際上未曾見(jiàn)到報道。
項目團隊下一步將繼續優(yōu)化產(chǎn)品結構,提高產(chǎn)品品質(zhì),保持產(chǎn)品性能的不斷創(chuàng )新,研制完善配套工藝,豐富產(chǎn)品線(xiàn),形成系列產(chǎn)品,增強產(chǎn)品盈利能力,建立先進(jìn)光電晶體材料高端裝備的應用開(kāi)發(fā)、培訓和服務(wù)體系,實(shí)現項目產(chǎn)品在多領(lǐng)域的應用。
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尖端科研裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊
尖端科研裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于先進(jìn)真空裝備研發(fā),緊跟國內外先進(jìn)技術(shù),勇于實(shí)踐創(chuàng )新。圍繞大規模集成電路、高性能材料等產(chǎn)業(yè)...
團隊信息
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課題組名稱(chēng):尖端科研裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊
課題組網(wǎng)址:www.sky.ac.cn
負責人:雷震霖
工作單位:沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
學(xué)科領(lǐng)域:真空裝備
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課題組院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:黃君龍
辦公電話(huà):024-23826803
手 機:15040097995
E-mail:huangjl@sky.ac.cn
科技處院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:鄧文宇
辦公電話(huà):024-23826803
手 機:13840418859
E-mail:dengwy@sky.ac.cn
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團隊介紹
尖端科研裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于先進(jìn)真空裝備研發(fā),緊跟國內外先進(jìn)技術(shù),勇于實(shí)踐創(chuàng )新。圍繞大規模集成電路、高性能材料等產(chǎn)業(yè)對先進(jìn)真空裝備的需求,通過(guò)搭建真空獲得技術(shù)與應用、真空應用實(shí)驗與驗證、真空密封技術(shù)與應用等研發(fā)平臺以及超高真空清洗、真空表面處理特種工藝試驗等配套設施,開(kāi)展了潔凈真空獲得、潔凈真空部件制備、潔凈真空密封等研究,突破了典型重大關(guān)鍵裝備及成套工藝、核心零部件與子系統制備技術(shù),研制了先進(jìn)真空技術(shù)成套裝備,提高了我國真空技術(shù)領(lǐng)域的國際競爭力。
典型轉移轉化項目案例
1.真空密封技術(shù)
真空密封技術(shù)攻關(guān)和工程化研究開(kāi)發(fā)取得的成果,已由依托單位成功實(shí)現了轉化,研制開(kāi)發(fā)的系列真空閥門(mén)產(chǎn)品已進(jìn)入批量化生產(chǎn)階段,產(chǎn)品性能獲得了國內用戶(hù)的高度肯定,研制開(kāi)發(fā)的光閘產(chǎn)品實(shí)現了替代進(jìn)口。
2.國家重大科技基礎設施
參與了上海光源重大科學(xué)裝置項目預研,并在首期建設的7條光束線(xiàn)和實(shí)驗站中,承擔并完成了5個(gè)前端區、4條光束線(xiàn)以及全部國產(chǎn)關(guān)鍵部件的研制任務(wù)(包括5個(gè)插入件白光狹縫、4個(gè)單色儀腔體和支架、19個(gè)束線(xiàn)熒光靶、14個(gè)絲掃描等),其中與中科院上海應用物理所、西安光機所合作完成的“單色儀”填補了國內空白,改變了我國該類(lèi)產(chǎn)品全部依賴(lài)進(jìn)口的局面。
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真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊
真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于干式真空泵裝備研發(fā),面向極大規模集成電路制造領(lǐng)域的迫切需求,自主搭建了設計、零部件檢測、...
團隊信息
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課題組名稱(chēng):真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊
課題組網(wǎng)址:www.sky.ac.cn
負責人:張振厚
工作單位:沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
學(xué)科領(lǐng)域:真空裝備
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課題組院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:黃君龍
辦公電話(huà):024-23826803
手 機:15040097995
E-mail:huangjl@sky.ac.cn
科技處院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:鄧文宇
辦公電話(huà):024-23826803
手 機:13840418859
E-mail:dengwy@sky.ac.cn
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團隊介紹
真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于干式真空泵裝備研發(fā),面向極大規模集成電路制造領(lǐng)域的迫切需求,自主搭建了設計、零部件檢測、整機性能驗證等平臺,建立起可靠性實(shí)驗、熱分析實(shí)驗、振動(dòng)噪聲測試等專(zhuān)業(yè)化支撐條件,從真空理論基礎、干式真空泵抽氣理論、熱力學(xué)、流體力學(xué)、結構材料學(xué)、機械、電氣及自動(dòng)化等多維度,全面掌握了干式真空泵的設計、研發(fā)、生產(chǎn)、檢測試驗和售后維修等全生命線(xiàn)核心技術(shù),研制開(kāi)發(fā)出的干式真空泵產(chǎn)品具有完全自主產(chǎn)權、填補了國內空白,并實(shí)現了在光伏、石油化工等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的擴展應用。
主要研究方向包括:
● 真空獲得裝備技術(shù)與工藝
● 真空獲得裝備真空熱處理
● 真空獲得裝備金屬材料表面處理
典型轉移轉化項目案例
1.羅茨干式真空泵及系列真空閥門(mén)
沈陽(yáng)科儀公司通過(guò)制定實(shí)施科學(xué)合理的人才團隊建設措施,培養出了一支具有實(shí)戰經(jīng)驗和持續創(chuàng )新能力的真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊,團隊先后攻克了潔凈真空獲得系統與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線(xiàn)設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動(dòng)/噪聲抑制技術(shù)、表面防腐技術(shù)、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、閥門(mén)密封技術(shù)、電機與驅動(dòng)系統設計等關(guān)鍵技術(shù),成功研制了具有完全自主知識產(chǎn)權、應用于不同使用環(huán)境、不同結構的9種干泵、3種真空閥門(mén)產(chǎn)品,產(chǎn)品的抽速、噪聲、極限真空度、可靠性等核心技術(shù)指標經(jīng)檢測均達到了國外同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平,打破了國外產(chǎn)品的市場(chǎng)壟斷,并以“同質(zhì)低價(jià)”的優(yōu)勢迫使國外產(chǎn)品降價(jià)30%銷(xiāo)售。
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