尖端科研裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于先進(jìn)真空裝備研發(fā)，緊跟國內外先進(jìn)技術(shù)，勇于實(shí)踐創(chuàng )新。圍繞大規模集成電路、高性能材料等產(chǎn)業(yè)對先進(jìn)真空裝備的需求，通過(guò)搭建真空獲得技術(shù)與應用、真空應用實(shí)驗與驗證、真空密封技術(shù)與應用等研發(fā)平臺以及超高真空清洗、真空表面處理特種工藝試驗等配套設施，開(kāi)展了潔凈真空獲得、潔凈真空部件制備、潔凈真空密封等研究，突破了典型重大關(guān)鍵裝備及成套工藝、核心零部件與子系統制備技術(shù)，研制了先進(jìn)真空技術(shù)成套裝備，提高了我國真空技術(shù)領(lǐng)域的國際競爭力。

1.真空密封技術(shù)

真空密封技術(shù)攻關(guān)和工程化研究開(kāi)發(fā)取得的成果，已由依托單位成功實(shí)現了轉化，研制開(kāi)發(fā)的系列真空閥門(mén)產(chǎn)品已進(jìn)入批量化生產(chǎn)階段，產(chǎn)品性能獲得了國內用戶(hù)的高度肯定，研制開(kāi)發(fā)的光閘產(chǎn)品實(shí)現了替代進(jìn)口。

2.國家重大科技基礎設施

參與了上海光源重大科學(xué)裝置項目預研，并在首期建設的7條光束線(xiàn)和實(shí)驗站中，承擔并完成了5個(gè)前端區、4條光束線(xiàn)以及全部國產(chǎn)關(guān)鍵部件的研制任務(wù)（包括5個(gè)插入件白光狹縫、4個(gè)單色儀腔體和支架、19個(gè)束線(xiàn)熒光靶、14個(gè)絲掃描等），其中與中科院上海應用物理所、西安光機所合作完成的“單色儀”填補了國內空白，改變了我國該類(lèi)產(chǎn)品全部依賴(lài)進(jìn)口的局面。