真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于干式真空泵裝備研發(fā)，面向極大規模集成電路制造領(lǐng)域的迫切需求，自主搭建了設計、零部件檢測、整機性能驗證等平臺，建立起可靠性實(shí)驗、熱分析實(shí)驗、振動(dòng)噪聲測試等專(zhuān)業(yè)化支撐條件，從真空理論基礎、干式真空泵抽氣理論、熱力學(xué)、流體力學(xué)、結構材料學(xué)、機械、電氣及自動(dòng)化等多維度，全面掌握了干式真空泵的設計、研發(fā)、生產(chǎn)、檢測試驗和售后維修等全生命線(xiàn)核心技術(shù)，研制開(kāi)發(fā)出的干式真空泵產(chǎn)品具有完全自主產(chǎn)權、填補了國內空白，并實(shí)現了在光伏、石油化工等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的擴展應用。

主要研究方向包括：

● 真空獲得裝備技術(shù)與工藝

● 真空獲得裝備真空熱處理

● 真空獲得裝備金屬材料表面處理

1.羅茨干式真空泵及系列真空閥門(mén)

沈陽(yáng)科儀公司通過(guò)制定實(shí)施科學(xué)合理的人才團隊建設措施，培養出了一支具有實(shí)戰經(jīng)驗和持續創(chuàng )新能力的真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊，團隊先后攻克了潔凈真空獲得系統與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線(xiàn)設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動(dòng)/噪聲抑制技術(shù)、表面防腐技術(shù)、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、閥門(mén)密封技術(shù)、電機與驅動(dòng)系統設計等關(guān)鍵技術(shù)，成功研制了具有完全自主知識產(chǎn)權、應用于不同使用環(huán)境、不同結構的9種干泵、3種真空閥門(mén)產(chǎn)品，產(chǎn)品的抽速、噪聲、極限真空度、可靠性等核心技術(shù)指標經(jīng)檢測均達到了國外同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平，打破了國外產(chǎn)品的市場(chǎng)壟斷，并以“同質(zhì)低價(jià)”的優(yōu)勢迫使國外產(chǎn)品降價(jià)30%銷(xiāo)售。