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研發(fā)團隊

Teams

真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2016-03-22
團隊信息
課題組名稱(chēng):真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊
課題組網(wǎng)址:www.sky.ac.cn
負責人:張振厚 工作單位:沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司 學(xué)科領(lǐng)域:真空裝備
課題組院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:黃君龍 辦公電話(huà):024-23826803
手 機:15040097995 E-mail:huangjl@sky.ac.cn
科技處院地合作聯(lián)絡(luò )人員
姓 名:鄧文宇 辦公電話(huà):024-23826803
手 機:13840418859 E-mail:dengwy@sky.ac.cn
團隊介紹

真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊致力于干式真空泵裝備研發(fā),面向極大規模集成電路制造領(lǐng)域的迫切需求,自主搭建了設計、零部件檢測、整機性能驗證等平臺,建立起可靠性實(shí)驗、熱分析實(shí)驗、振動(dòng)噪聲測試等專(zhuān)業(yè)化支撐條件,從真空理論基礎、干式真空泵抽氣理論、熱力學(xué)、流體力學(xué)、結構材料學(xué)、機械、電氣及自動(dòng)化等多維度,全面掌握了干式真空泵的設計、研發(fā)、生產(chǎn)、檢測試驗和售后維修等全生命線(xiàn)核心技術(shù),研制開(kāi)發(fā)出的干式真空泵產(chǎn)品具有完全自主產(chǎn)權、填補了國內空白,并實(shí)現了在光伏、石油化工等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的擴展應用。

主要研究方向包括:

● 真空獲得裝備技術(shù)與工藝

● 真空獲得裝備真空熱處理

● 真空獲得裝備金屬材料表面處理

典型轉移轉化項目案例

1.羅茨干式真空泵及系列真空閥門(mén)

沈陽(yáng)科儀公司通過(guò)制定實(shí)施科學(xué)合理的人才團隊建設措施,培養出了一支具有實(shí)戰經(jīng)驗和持續創(chuàng )新能力的真空獲得裝備技術(shù)創(chuàng )新團隊,團隊先后攻克了潔凈真空獲得系統與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線(xiàn)設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動(dòng)/噪聲抑制技術(shù)、表面防腐技術(shù)、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、閥門(mén)密封技術(shù)、電機與驅動(dòng)系統設計等關(guān)鍵技術(shù),成功研制了具有完全自主知識產(chǎn)權、應用于不同使用環(huán)境、不同結構的9種干泵、3種真空閥門(mén)產(chǎn)品,產(chǎn)品的抽速、噪聲、極限真空度、可靠性等核心技術(shù)指標經(jīng)檢測均達到了國外同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平,打破了國外產(chǎn)品的市場(chǎng)壟斷,并以“同質(zhì)低價(jià)”的優(yōu)勢迫使國外產(chǎn)品降價(jià)30%銷(xiāo)售。


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